氣體傳感器產(chǎn)品及廠家
四氟化硅傳感器是由四方光電自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(ndir)，能夠精確測量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的sif4、wf6、cf4、sf6、nf3、co2等氣體，兼容機臺內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。
更新時間:2025-01-09
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