veeco 的 lsa101 系統(tǒng)安裝在全球先的 idm 和晶圓代工廠,是大批量制造 40nm 至 14nm 節(jié)點(diǎn)的先進(jìn)邏輯器件的選技術(shù)。lsa 101 的掃描技術(shù)基于 veeco 的可定制 unity 平臺(tái)™構(gòu)建,在均勻性和低應(yīng)力處理方面具有根本優(yōu)勢(shì)。lsa101 系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵的毫退火應(yīng)用,使客戶能夠保持精確、有針對(duì)性的高加工溫度,從而提高設(shè)備性能、降低泄漏和提高產(chǎn)量。
更新時(shí)間:2024-08-13