kronos垂直梯度凝固法系統(tǒng),用以解決基本工藝問題。該系統(tǒng)的高工作壓力意味著,即使其組分具有高蒸氣壓的材料也可以結(jié)晶。該系統(tǒng)可在10-40巴的壓力范圍內(nèi)用于不同化合物半導(dǎo)體的結(jié)晶。這種方法支持晶體的工業(yè)化生產(chǎn),例如砷化鎵(gaas)的工業(yè)化生產(chǎn)可以通過在大10巴壓力的標(biāo)準(zhǔn)版設(shè)備實現(xiàn),而磷化銦(inp)的生產(chǎn)可以在大40巴壓力的標(biāo)準(zhǔn)版設(shè)備中實現(xiàn)。
更新時間:2024-08-15