美國Aalborg, Aalborg氣體質(zhì)量流量計(jì), Aalborg控制器
美國Aalborg Instruments & Controls, Inc成立于1972年,是世界上著名的氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器的生產(chǎn)廠家,其產(chǎn)品廣泛用于微電子工藝、真空鍍膜、 材料科學(xué) 、石油化工、醫(yī)藥、環(huán)保等領(lǐng)域。
產(chǎn)品特點(diǎn):性價(jià)比高、響應(yīng)速度快、可靠性高,易于集成、環(huán)路保護(hù)、備總量計(jì)數(shù)器
典型應(yīng)用:CVD、PVD、刻蝕、等離子注入、濺射、ITO、玻璃鍍膜、表面處理等鍍膜工藝。
設(shè)計(jì)特點(diǎn):-剛性金屬結(jié)構(gòu) -流程范圍從0開始到10sccm直到0到1000slpm -最大壓力500psig(34.5Bar) -泄漏率1*10-7氦氣 -NIST系統(tǒng)標(biāo)定可追蹤的證明 -可傾斜的LCD讀表 -0-5Vdc或4-20mA信號(hào)輸出 -電路保護(hù) -可用作便攜式的設(shè)備 -0到100%比例顯示 -可配備流量計(jì)算機(jī) 精度:±1.5%滿量程,包括59℉到77℉的氣體溫度(15℃到25℃)和5到60psia(0.4到4.1bar)的壓力?蛇x±1%滿量程(標(biāo)定精度),在給定的溫度與壓力值條件下。 重復(fù)性:±0.5%滿量程 回應(yīng)時(shí)間:實(shí)際流速±2%超過滿量程25-100%一般2秒 溫度系數(shù):0.15%滿量程/℃ 壓力系數(shù):0.01%滿量程/psi(0.07bar) 氣體/周圍溫度:32℉-122℉(5℃-50℃) 輸出信號(hào):0-5Vdc,最小1000Ω。4-20mA、0-250Ω回路電阻 傳感器輸出:+12Vdc;最大200Ω。+24Vdc可選 時(shí)間恒量:800ms 氣體壓力:最大1000psig(70bar)。可選20psig(1.4bar) 流體接觸面材質(zhì):A:GFC鋁系列為陽極電鍍鋁、316不銹鋼、銅和氟橡膠圓環(huán) B:GFC17S,37S,47S,57S,67S,77S不銹鋼系列:316不銹鋼、氟橡膠圓環(huán)可選氯丁橡膠圓環(huán)。 方位靈敏度:水平到垂直旋轉(zhuǎn)低于15度;標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)是在水平位置 連接:GFC17和37:1/4"卡套螺紋VCR®或1/8"卡套可選(GFC17) GFC47:3/8"卡套螺紋 GFC57:3/8"卡套螺紋 GFC67:1/2"卡套螺紋 GFC77:3/4"卡套螺紋 VCR®或3/4"卡套可選(GFC77)
美國FATHOMS是一家生產(chǎn)和銷售多種測量范圍的氣體流量儀表及控制儀表的公司。在其德克薩斯工廠生產(chǎn)全面的熱質(zhì)量流量計(jì)及控制器、水平開關(guān)以及流量計(jì)附件。
美國FATHOM公司,同樣為美國國家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究院提供行業(yè)內(nèi)的氣體流量儀器儀表規(guī)范。FATHOMS氣體質(zhì)量流量計(jì)
其產(chǎn)品主要有:
1 氣體質(zhì)量流量計(jì)
GR系列,GRMF系列,GRHF系列,IL系列,GRF系列
2 壓力傳感器
特點(diǎn)
1) 熱式傳感器
2) 1%精度 100:1 量程比
3) 一體化的閥、顯示器及設(shè)定點(diǎn)
4) 線性化輸出(0-5 VDC, 4-20 mA)
5) 單獨(dú)的電源終端適配器
6) 316不銹鋼流體
7) 符合NIST校準(zhǔn)
8) 低廉的價(jià)位
應(yīng)用:OEM、實(shí)驗(yàn)室、醫(yī)學(xué)、過程控制、制藥 、泄漏檢測、R & D 、氣體混合
FATHOMS氣體質(zhì)量流量計(jì)
型號(hào)列舉:
GR111-3B-PO
GR111-4-B-PO
GR111-5-B-PO
GR112-4-B-PO
GR112-4-B-PO-MF
GR115-1-A-PO-SS
GR112-4-B-PO-MF-SS
GR112-01SS
GR112-04SS
GR115-01SS
GR115-04SS
GR116-01SS
GR116-04SS
MF111-1
MF111-2
MF112-1
MF112-2
HF111-1
HF111-2
HF112-1
HF112-2
GRF201
GRF301
熱式氣體質(zhì)量流量計(jì) 氣體質(zhì)量流量儀
型號(hào):LT/DY-EP
北京LT/DY-EP熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)使用方法是氣體流量計(jì)量中新型儀表,區(qū)別于其它氣體流量計(jì)不需要進(jìn)行壓力和溫度修正,直接測量氣體的質(zhì)量流量,一支傳感器可以做到量程從極低到高量程。它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測量。它依據(jù)的原理是流體吸收熱的速度直接與質(zhì)量流量相關(guān)。移動(dòng)的氣體分子撞擊熱電阻時(shí)吸收帶走熱量,流率越大,接觸熱電阻的分子越多,吸收的熱量越多,熱吸收與某種氣體的分子數(shù),熱學(xué)特性和流動(dòng)特性有關(guān)。
·北京LT/DY-EP熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)使用方法不需要溫度,壓力補(bǔ)償;·一個(gè)流量計(jì)能同時(shí)兼顧小流量和大流量測量, 特別適合大口徑測量。·施工量極小,由于采用插入式結(jié)構(gòu),只需要在 管道上開一個(gè)M20×1.5孔。·帶球閥,校正維修方便。·智能數(shù)顯流量積算儀配套。·基地式儀表可以就地顯示和帶報(bào)警控制。技術(shù)性能
熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)是氣體流量計(jì)量中新型儀表,區(qū)別于其它氣體流量計(jì)不需要進(jìn)行壓力和溫度修正,直接測量氣體的質(zhì)量流量,一支傳感器可以做到量程從極低到高量程。它適合單一氣體和固定比例多組份氣體的測量。它依據(jù)的原理是流體吸收熱的速度直接與質(zhì)量流量相關(guān)。移動(dòng)的氣體分子撞擊熱電阻時(shí)吸收帶走熱量,流率越大,接觸熱電阻的分子越多,吸收的熱量越多,熱吸收與某種氣體的分子數(shù),熱學(xué)特性和流動(dòng)特性有關(guān)。
·不需要溫度,壓力補(bǔ)償;·一個(gè)流量計(jì)能同時(shí)兼顧小流量和大流量測量, 特別適合大口徑測量。·施工量極小,由于采用插入式結(jié)構(gòu),只需要在 管道上開一個(gè)M20×1.5孔。·帶球閥,校正維修方便。·智能數(shù)顯流量積算儀配套。·基地式儀表可以就地顯示和帶報(bào)警控制。技術(shù)性能
產(chǎn)品特點(diǎn):
技術(shù)參數(shù):
機(jī)械尺寸:
管道直徑 (mm) | 插入深度 (mm) | 探桿總長度(H為壁厚) (按15通徑的球閥計(jì)算) | 定長 | 流量范圍(Nm3/hr) |
80 | 11 | 168+H | 桿長250;直徑14 球閥15 | 1000 |
100 | 13 | 170+H | 1600 | |
125 | 16 | 173+H | 2500 | |
150 | 20 | 177+H | 3500 | |
200 | 26 | 183+H | 6500 | |
250 | 33 | 190+H | 10000 | |
300 | 40 | 197+H | 15000 | |
350 | 46 | 203+H | 20000 | |
400 | 53 | 210+H | 25000 | |
450 | 60 | 217+H | 桿長325;直徑14 球閥15 | 32000 |
500 | 66 | 223+H | 40000 | |
600 | 80 | 237+H | 55000 | |
700 | 93 | 250+H | 75000 | |
800 | 106 | 263+H | 100000 | |
900 | 119 | 276+H | 130000 | |
1000 | 132 | 289+H | 160000 | |
1100 | 146 | 302+H | 桿長400;直徑19 球閥20 | 200000 |
1200 | 159 | 329+H | 230000 | |
1300 | 172 | 343+H | 270000 | |
1400 | 186 | 356+H | 320000 | |
1500 | 199 | 369+H | 360000 | |
1600 | 212 | 382+H | 400000 |
產(chǎn)品型號(hào) | D07-11CM |
產(chǎn)品類型 | 高耐壓型 |
流量量程 | 5sccm,10sccm,20sccm,30sccm,50sccm,100sccm,200sccm,300sccm,500sccm,1slm,2slm,3slm,5slm,10slm,20slm,30slm |
產(chǎn)品精度 | ±1%F.S.(20slm 30slm ±2%F.S.) |
重復(fù)精度 | ±0.2% FS |
線性 | ±0.5%F.S.(20slm 30slm ±2%F.S.) |
響應(yīng)時(shí)間 | ≤10sec |
工作溫度范圍 | (5~45)°C |
耐壓 | 10MPa |
密封材料 | 氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene,聚四氟乙烯 Teflon |
輸入輸出信號(hào) | (0~5)VDC |
電源 | ±15V |
閥類型 | 無閥 |
溫度系數(shù) | - 無 - |
零點(diǎn)飄移指標(biāo) | - 無 - |
電氣連接 | D sub 15 pins Male |
工作壓差范圍 | <0.02 MPa |
漏率 | 1×10-9atm•cc / sec He(1×10-10 Pa•m3 / sec He) |
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式 | 雙卡套1/8”(滿量程>10slm不適用),雙卡套Φ3(滿量程>10slm不適用),雙卡套Φ8,雙卡套Φ6,雙卡套Φ10,雙卡套3/8”,VCR1/4”,雙卡套1/4” |
表面化學(xué)成分 | - 無 - |
表面粗糙度 | - 無 - |
抗電磁干擾 | CE |
重量 | 1Kg |
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供應(yīng)日本進(jìn)口TOFCO東京流量G_THM氣體質(zhì)量流量計(jì):
可以根據(jù)客戶的要求,來設(shè)定流體的流量;
不受外界壓力與溫度的影響,穩(wěn)定提供固定的流量;
電源電壓DC24V。
咨詢方式:壹叁陸捌壹陸捌零叁零貳
TOFCO東京流量
產(chǎn)品名稱: | 插入式氣體質(zhì)量流量計(jì) |
產(chǎn)品類別: | SIERRA產(chǎn)品 - 640S氣體質(zhì)量流量計(jì) |
技術(shù)特點(diǎn): | 熱式原理,直接測氣體質(zhì)量流量,適用大管道低流速,帶在線插撥球閥,量程范圍1000:1 |
典型應(yīng)用: | 空氣、沼氣、天然氣、潔凈煤氣等氣體測量 |
HWRSL系列流量計(jì)/流量開關(guān)是基于熱擴(kuò)散原理的流量儀表。即是利用流體流過發(fā)熱物體時(shí),發(fā)熱物體的熱量散失多少與流體的流量成一定的比例關(guān)系。具體來說,該流量計(jì)的傳感器有兩只標(biāo)準(zhǔn)級(jí)的RTD,一只用來做熱源,一只用來測量流體溫度,流體流過時(shí),兩者之間的溫度差與流量的大小成非線性關(guān)系,該儀表就可以把這種關(guān)系轉(zhuǎn)換為測量流量信號(hào)的線性輸出。
產(chǎn)品特點(diǎn):• 采用穩(wěn)定性極高的專利技術(shù)鉑RTD傳感器• 采用享有專有技術(shù)”平衡結(jié)構(gòu)封裝”,介質(zhì)溫度自補(bǔ)償• 專有算法,可實(shí)現(xiàn)高線性、高重復(fù)性、高精度• 量程比寬1000:1,可據(jù)用戶要求可拓展• 可實(shí)現(xiàn)大管徑小流量測量,最小流量可測低至零,分辨率0.001m/s• 無可動(dòng)部件、振動(dòng)影響可忽略• 直管段要求不高1-2D• 與介質(zhì)的溫度、壓力無關(guān)• 專有高溫算法,介質(zhì)溫度可達(dá)+510℃,• 采用高濕算法,實(shí)現(xiàn)高精度測量• 對(duì)流量信號(hào)鍵入12點(diǎn)動(dòng)態(tài)修正,內(nèi)置10點(diǎn)修正• 在線動(dòng)態(tài)校正電流/電壓輸出• 對(duì)粉塵等小顆粒不敏感• 在線不斷流裝卸,維護(hù)方便
HWRSL | 熱式氣體質(zhì)量流量計(jì) | |||||||
公程通徑 | -XXX | 100表示DN100 | ||||||
安裝形式 | G | 管道式 | ||||||
C | 插入式 | 1 | 螺紋連接 | |||||
2 | 法蘭連接 | |||||||
公稱壓力 | A | 0~0.6MPA | ||||||
B | 0~1.0MPA | |||||||
C | 0~1.6MPA | |||||||
D | 0~2.5MPA | |||||||
E | 0~4.0MPA | |||||||
F | 0~6.4MPA | |||||||
G | 0~10MPA | |||||||
H | 0~16MPA | |||||||
工藝條件 | 0 | 普通 | ||||||
1 | 防腐 | |||||||
2 | 防爆 | |||||||
3 | 高溫 | |||||||
輸入信號(hào) | A | 無輸出 | ||||||
B | 4~20MA | |||||||
C | RS485 MODBUS | |||||||
| 1 | 220V AC | ||||||
2 | 24V DC |