產(chǎn)品名稱:半導體特氣檢漏儀 半導體特氣檢測儀 半導體特氣測量儀產(chǎn)品型號:QT104-703D特點： 適合于檢測半導體特氣的微量泄漏。 采用聲光報警。 檢測對象氣體 半導體材料氣體（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等） 檢測原理 線型半導體式 采樣方式 自動吸引式 可檢測濃度 （單位：ppm） 砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氫氣 AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 0.2 0.3 0.1 0.5 1.0 檢測表示 蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍 應答速度 10秒以內(nèi)