產(chǎn) 品 說 明 | ||||
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概述:
高速X射線管球的搭載,實(shí)現(xiàn)了高精度的測定。而且配合極微小準(zhǔn)直器和光學(xué)變焦鏡頭可以實(shí)現(xiàn)
極微小部分的測定。更可以對有高低平面差異的樣品進(jìn)行測定。
主要特點(diǎn):
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日本日立FT9500X型X射線熒光鍍層厚度測量儀
日立(EA1000AIII、EA1000VX、EA1200VX、EA1300VX、EA6000VX、FT110A、FT9300、FT9500、FT9500X、FT9550X、FT150、FT150h、FT150L)FT9500系列產(chǎn)品,搭載了高性能X射線管,實(shí)現(xiàn)了高精度的測定。FT110A極微小準(zhǔn)直管和可變焦距光學(xué)系統(tǒng)的組合,實(shí)現(xiàn)了對極微小部分的測定。對有段差的樣品也適用。
1.FT9500X搭載了50W高性能X射線管。2.FT9500X搭載毛細(xì)聚焦導(dǎo)管。3.容易對微小領(lǐng)域進(jìn)行觀察,F(xiàn)T9500X搭載了能4階段切換的可變焦距光學(xué)系統(tǒng)。4.依據(jù)照明能很容易對以前觀察困難的樣品進(jìn)行觀察。5.FT9500X搭載了防止有凹凸的樣品碰撞的傳感器。6.搭載了焦點(diǎn)切換功能,F(xiàn)T9500X能夠?qū)τ懈叨鹊臉悠返牡筒糠诌M(jìn)行測定。7.FT9500X利用伺服馬達(dá)精確的驅(qū)動平臺。7.FT9500X運(yùn)用激光聚焦功能簡單實(shí)現(xiàn)位置的調(diào)整。
日本日立FT110A型X射線熒光鍍層厚度測量儀
日立(主營EA1000AIII、EA1000VX、EA1200VX、EA1300VX、EA6000VX、FT110A、FT9300、FT9500、FT9500X、FT9550X、FT150、FT150h、FT150L)FT110A系列產(chǎn)品,搭載了高性能X射線管,實(shí)現(xiàn)了高精度的測定。FT110A極微小準(zhǔn)直管和可變焦距光學(xué)系統(tǒng)的組合,實(shí)現(xiàn)了對極微小部分的測定。對有段差的樣品也適用。
1.FT110A搭載了50W高性能X射線管。2.FT110A搭載標(biāo)準(zhǔn)的Φ50μm微小準(zhǔn)直管(最小Φ15μm)。3.容易對微小領(lǐng)域進(jìn)行觀察。FT110A搭載了能4階段切換的可變焦距光學(xué)系統(tǒng)。4.依據(jù)照明能很容易對以前觀察困難的樣品進(jìn)行觀察。5.FT110A搭載了防止有凹凸的樣品碰撞的傳感器。6.搭載了焦點(diǎn)切換功能,F(xiàn)T110A能夠?qū)τ懈叨鹊臉悠返牡筒糠诌M(jìn)行測定。7.FT110A利用伺服馬達(dá)精確的驅(qū)動平臺。7.FT110A運(yùn)用激光聚焦功能簡單實(shí)現(xiàn)位置的調(diào)整。
FT150(FT150/FT150h/FT150L)日本日立X射線熒光鍍層厚度測量儀
日立(主營EA1000AIII、EA1000VX、EA1200VX、EA1300VX、EA6000VX、FT110A、FT9300、FT9500、FT9500X、FT9550X、FT150、FT150h、FT150L),FT110A系列產(chǎn)品,搭載了性能X射線管,實(shí)現(xiàn)了高精度的測定。FT110A極微小準(zhǔn)直管和可變焦距光學(xué)系統(tǒng)的組合,實(shí)現(xiàn)了對極微小部分的測定。對有段差的樣品也適用。1. 高速測量:通過X射線檢測機(jī)的改良,對于極具代表性的Au/Pd/Ni/Cu(金/鈀/鎳/銅)多鍍層測量,相比以前機(jī)型,效率提高了2倍以上。2. 對應(yīng)超小型的芯片零部件的厚度測量(FT150h:FT150h通過最新開發(fā)的聚光導(dǎo)管,可以測量超小型芯片零部件(電容、電阻等)的電極部的鍍層厚度測量。3. 兼顧安全性和簡便性:采用防止X射線泄露的密集型框架和大開口且可以方便開啟和關(guān)閉的樣品門,兼顧安全性和簡便性!窮T150L」可以對應(yīng)最大600×600mm的大型線路板。
X射線熒光鍍層厚度儀「FT150系列」(FT150/FT150h/FT150L)是采用聚光X射線的聚光導(dǎo)管,可對微小部的鍍層厚度進(jìn)行高速測量的高性能儀器。通過X射線檢測儀器的改良,在線路板和連接器等使用的Au/Pd/Ni/Cu(金/鈀/鎳/銅)多鍍層檢測中,其測量速度與本公司以往機(jī)型(FT9500X,以下相同)相比,提高了2倍以上。在「FT150h」里通過新開發(fā)的聚光導(dǎo)管也可以測量超小型芯片零部件的端子鍍層厚度。而且跟以往機(jī)型相同,為操作員的安全和安心考慮,采用X射線泄露的可能性極小的密集型框架。新設(shè)計的樣品室門采用大開口,同時保證了開啟和關(guān)閉的便捷性。并且通過大型觀察窗口,可以方便地取放和定位樣品。另外,操作軟件通過圖標(biāo)和便捷畫面在提高了操作性的同時,可通過數(shù)據(jù)自動保存功能減輕操作員的業(yè)務(wù)。通過這些改進(jìn),「FT150系列」實(shí)現(xiàn)了高精度?迅速的鍍層厚度測量,為測量工作的效率化和成本削減做出了貢獻(xiàn)。
概述:
SFT9000系列里最好的機(jī)型“SFT9455”,搭載75W高速X射線管和雙重檢驗裝置(半導(dǎo)體檢驗裝置十比
例計數(shù)管)。適用“薄膜”、“金屬膜”、“極微小部分測定”等所有鍍膜膜厚測定要求的高性能膜
厚測量儀器。而且 “SFT9455”在鍍膜厚度測量功能的基礎(chǔ)上還可以用作異物定性分析和材料成分分析。
主要特點(diǎn):